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            多晶硅工藝
              ● 改良西門子法-閉環式三氯氫硅氫還原法

              氯化氫和工業硅粉在一定溫度下合成三氯氫硅,然后對三氯氫硅分離精餾提純,提純后的三氯氫硅在氫還原爐內進行CVD反應生產高純多晶硅。
              工序有:合成-提純-還原-尾氣回收-氫化和后處理。

              ● 硅烷法-硅烷熱分解法(美國Asimi和SGS)

              硅烷SiH4是經過四氯化硅氫化法,硅合金分解法,氫化物還原法,硅的直接氫化法等方法制取,然后將制得的硅烷氣提純后在熱分解爐中生產棒狀高純度多晶硅。

              ● 流化床法

              四氯化硅,氫氣,氯化氫和工業硅在流化床內高溫高壓下反應生產三氯氫硅,進一步歧化加氫生成二氯二氫硅,繼而生成硅烷氣,通入到加入小顆粒硅粉的流化床反應爐內加熱分解反應,生成粒狀多晶硅產品。

            多晶硅用閥門
              ● 波紋管閥門:調節閥、截止閥

              ● HAST C或 Monel

              ● O型切斷球閥

              ● 耐磨球閥閥球和閥座采用粉末碳化鎢高速噴射或整體碳化鎢,用于硅粉輸送

              ● 襯氟閥門

            常用閥門品牌


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